【導讀】11月5日至10日，第八屆中國國際進口博覽會在上海國家會展中心成功舉辦。技術(shù)裝備展區(qū)作為全場焦點之一，吸引眾多專業(yè)觀眾駐足交流，現(xiàn)場氣氛熱烈。連續(xù)七年參展的全球光刻技術(shù)領(lǐng)導者ASML，此次以“積納米之微，成大千世界”為主題，在集成電路專區(qū)展示了其前沿的光刻解決方案。
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ASML全球執(zhí)行副總裁、中國區(qū)總裁沈波在接受采訪時強調(diào)：“進博會倡導的開放合作理念，與半導體產(chǎn)業(yè)全球化協(xié)作、共同進步的特質(zhì)高度契合。我們希望通過這一平臺，與各界伙伴深入交流，分享行業(yè)洞見，展示ASML在光刻領(lǐng)域的最新成果。”
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AI時代的兩大挑戰(zhàn)：算力需求與能源消耗
隨著人工智能技術(shù)的迅猛發(fā)展，全球半導體行業(yè)正迎來新的變革契機。沈波指出，AI將成為引領(lǐng)下一波半導體產(chǎn)業(yè)大發(fā)展、并推動社會全面數(shù)字化轉(zhuǎn)型的核心驅(qū)動力。根據(jù)麥肯錫預測，到2030年，AI將為全球GDP貢獻10萬億美元的價值。
然而，AI的快速發(fā)展也帶來了兩大挑戰(zhàn)。沈波解釋道，一是摩爾定律和AI時代對算力需求之間的“剪刀差”——半導體行業(yè)長期遵循的摩爾定律顯示晶體管數(shù)量每兩年左右翻一倍，而AI的算力需求幾乎是每兩年以15-16倍的速度增長，這與摩爾定律預示的線性增長路徑形成鮮明對比。
二是能源消耗問題。研究表明，若僅通過增加模型參數(shù)提升性能，且其他技術(shù)條件不變，為了在200小時內(nèi)完成一次超大模型訓練，其所需的計算速度將導致功耗大幅度提升。
“鐵三角”全景光刻解決方案應對行業(yè)挑戰(zhàn)
面對這些挑戰(zhàn)，延續(xù)摩爾定律仍是關(guān)鍵應對之策。沈波介紹，“通過2D微縮持續(xù)縮小晶體管尺寸、提升晶體管密度與能效，以及借助3D集成進行堆疊和封裝，突破平面極限，是芯片行業(yè)在技術(shù)領(lǐng)域?qū)で髣?chuàng)新突破的兩大核心路線。”
ASML通過“鐵三角”全景光刻解決方案——光刻機、計算光刻、量測與檢測的協(xié)同，幫助客戶以更低能耗和成本實現(xiàn)更高良率，提升芯片性能與能效。
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在本次進博會現(xiàn)場，ASML以數(shù)字化方式展示了全景光刻解決方案下的多款產(chǎn)品和技術(shù)。沈波詳細介紹道：“光刻機幫助客戶制造芯片，計算光刻創(chuàng)建光刻工藝的精確仿真模型以提高良率和產(chǎn)能，量測與檢測設(shè)備用于曝光后晶圓成像檢查和反饋，及時糾錯/調(diào)整光刻工藝實時提升良率。”
ASML展示的DUV光刻機具備多項創(chuàng)新技術(shù)。其中TWINSCAN XT:260是ASML的首款可服務(wù)于先進封裝領(lǐng)域的光刻機，該設(shè)備通過光學系統(tǒng)的創(chuàng)新具有大視場曝光，相較于現(xiàn)有機型可提升4倍生產(chǎn)效率。沈波補充說：“這款設(shè)備在今年第三季度已正式發(fā)運。”
另一款DUV光刻機TWINSCAN NXT:870B在升級的光學器件和最新一代磁懸浮平臺的支持下，可實現(xiàn)每小時晶圓產(chǎn)量400片以上，并為鍵合后的套刻和階梯式工藝提供強大的校正能力。
值得一提的是，ASML的DUV光刻機創(chuàng)新性地引入了鉆石涂層，能夠有效減少設(shè)備磨損，延長使用壽命，降低更換需求與維護成本。
深耕中國市場三十余載，團隊持續(xù)壯大
自1988年向中國交付首臺步進式光刻機起，ASML在華征程已逾三十載。沈波表示，ASML參與并見證了中國半導體行業(yè)的發(fā)展歷程，在合法合規(guī)前提下始終為中國客戶提供堅實支持。
如今，中國已成為ASML最重要的市場之一。ASML在中國17個城市設(shè)有辦事處、還有15個倉儲物流中心、3個開發(fā)中心、1個培訓中心以及1個維修中心，形成了集開發(fā)、支持、服務(wù)與人才培養(yǎng)于一體的綜合體系。
ASML在中國的團隊也在持續(xù)壯大。沈波介紹：“目前ASML中國區(qū)員工人數(shù)已經(jīng)突破2000人，相比去年的1800人實現(xiàn)了約10%的穩(wěn)健增長。我們在中國的計算光刻和電子束量測開發(fā)團隊超過400人，今年新增的200名員工中客戶服務(wù)工程師占據(jù)很大比重。”
在業(yè)務(wù)發(fā)展的同時，ASML也積極踐行企業(yè)社會責任。沈波分享道：“團隊在全國各地開展ESG活動，包括慈善活動、科技類活動等，例如我們的西安團隊每年都會定期前往當?shù)剜l(xiāng)鎮(zhèn)小學，為留守兒童組織活動，給予他們陪伴與關(guān)懷。”
行業(yè)前景樂觀，穩(wěn)健增長可期
在采訪的最后，沈波分享了對ASML業(yè)績以及行業(yè)發(fā)展的看法：“根據(jù)公司最新第三季度財報，ASML預期2025年全年銷售額將實現(xiàn)15%的同比增長。當前，半導體行業(yè)整體仍處于調(diào)整階段，并正逐步進入上行周期，全年15%的幅度是一個比較穩(wěn)健的增長。”
中長期來看，公司持續(xù)看好行業(yè)發(fā)展。沈波表示，ASML基本維持對2030年營業(yè)額達到440億至600億歐元的預期，“整體而言，我們對行業(yè)前景保持樂觀態(tài)度。”
隨著人工智能時代的全面到來，半導體產(chǎn)業(yè)正站在新的歷史起點。ASML通過其全景光刻解決方案，正積極助力全球半導體行業(yè)應對算力與能效挑戰(zhàn)，推動技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級。
