- TAOS TFT應用于柔性顯示器的開發成果開發成果接連不斷
- 凸版印刷、大日本印刷、美國俄勒岡州立大學紛紛展示其成果
透明非晶氧化物半導體TFT（TAOS-TFT）被視為新一代顯示器用薄膜晶體管（TFT）最有希望的候補技術。近來將其應用于柔性顯示器的開發成果接連不斷。在2010年1月25～26日舉行的“International Workshop on Transparent Amorphous Oxide Semiconductors（TAOS 2010）”上，凸版印刷公開了以應用于電子紙領域為目的的開發成果，而大日本印刷則展示了柔性有機EL面板的試制結果。另外，美國俄勒岡州立大學(Oregon State University)也發表了利用印刷法制造TAOS-TFT的研究成果。
凸版印刷確立了利用印刷法來制造電子紙的目標，目前正考慮在該領域應用TAOS-TFT。該公司曾于2009年12月發表相關成果，使用TAOS涂膜在玻璃底板上制造TAOS-TFT后成功驅動了電子紙。此次介紹了之后的進展。首先將2009年12月發表時只有0.5cm2/Vs的TAOS-TFT遷移率提高到了10倍，達到了5.4cm2/Vs。凸版印刷綜合研究所新一代環境能源研究所高級首席研究員伊藤學稱：“這是通過改進涂布材料、元器件結構及鈍化膜等手段實現的。”另外，所驅動的面板的分辨率也有所提高。2009年12月時驅動的只是2英寸QQVGA（80×60像素）50ppi（pixel per inch）面板，而此次驅動的則是VGA（640×480像素）400ppi面板。
TAOS-TFT制造工藝的最高溫度與2009年12月時同為270℃，但凸版印刷的伊藤表示：“現在估計還能降至250～240℃，今后還打算進一步降至150℃”。這樣做是因為制造溫度降至150℃后，便可使用樹脂底板。但伊藤又稱，要想達到這一目標，“恐怕還需要徹底改進由涂布材料形成TAOS膜的化學反應設計”。
大日本印刷介紹了分辨率為85ppi的4.7英寸QVGA（320×240像素）柔性有機EL面板的試制結果。試制的面板厚度為0.4mm，彎折百次以上，也未發現顯示性能劣化。這是通過在頂部發光型白色LED基礎上，組合使用柔性彩色濾光片以及不銹鋼底板上形成的TAOS-TFT而實現的。
彩色濾光片使用液體材料直接在聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN：polyethylene naphthalate）底板上繪制RGB圖案。TAOS-TFT是利用濺鍍法在不銹鋼底板上形成TAOS膜之后，再經300℃退火處理后制成。TAOS-TFT的遷移率為4.1cm2/Vs，導通/截止比為107～108，性能水平與在玻璃底板上形成時相當。
俄勒岡州立大學展示了利用有機溶媒溶解金屬氯化物后的液體材料，以噴墨法形成TAOS膜的TAOS-TFT試制結果。在TAOS膜使用IGZO（In-Ga-Zn-O）時，通過500℃退火處理，獲得了遷移率為25.6cm2/Vs、導通/截止比為107的良好特性。至于可進行低溫退火處理的TAOS膜，該大學提到的是In2O3。據稱，即使將退火溫度降至300℃，是In2O3薄膜仍可保持17.0cm2/Vs的遷移率，而如果允許遷移率降至1cm2/Vs的話，還可將退火溫度進一步降至200℃。
